悬浮微料：一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒，其粒径范围一般在0.1-5um之间。
洁室度：用以表征单位体积空间内空气中所含微粒大小及数量的多少。是区别空气洁净程度的标准。
气闸室：设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染汽流和压差控制而设置的缓冲室。
风淋室：气闸室的一种，通过安装风机，过滤网及控制系统等对入室人员进行周身吹扫通道，它是减少外来污染的有效途道之一。
洁净工作服：为把工作人员产生的粒子限制到最小程度， 所使用的发尘量少的洁净服装。
高效空气过滤器： 在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm 粒子的捕集效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa 以下的空气过滤器。
超高效空气过滤器： 在额定风量下，对粒径0.1～0.2μm 粒子的捕集效率在99.999%以上及气流阻力在280Pa 以下的空气过滤器。
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